光譜能量分析儀

描述： EDS全稱為Energy Dispersive Spectrometer，EDS是電子顯微鏡（SEM掃描電鏡、TEM 透射電鏡）的重要附屬配套儀器，主要利用電子束撞擊在樣品上所激發(fā)的特征X光來進(jìn)行待測(cè)樣品的定性或半定量化學(xué)成份分析。

EDS通常與SEM (掃描電子顯微鏡）、TEM (透射電子顯微鏡）和STEM (掃描透射電子顯微鏡）等影像分析工具搭配使用的分析技術(shù)。當(dāng)EDS和這些影像工具結(jié)合到一起時(shí)，可以提供直徑至納米的區(qū)域進(jìn)行元素分析。電子束對(duì)樣品的撞擊會(huì)產(chǎn)生樣品元素的特性X-射線， EDS分析可用于確定單點(diǎn)的元素成份，繪制出二維/三維的成像區(qū)域元素的成份分布/稱映圖(Mapping)，或者EDS 線掃描Line-scanning一維成份分布。

應(yīng)用范圍：樣品元素分析，被動(dòng)件真?zhèn)舞b別