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材料分析
光譜能量分析儀
描述: EDS全稱為Energy Dispersive Spectrometer,EDS是電子顯微鏡(SEM掃描電鏡、TEM 透射電鏡)的重要附屬配套儀器,主要利用電子束撞擊在樣品上所激發(fā)的特征X光來進(jìn)行待測(cè)樣品的定性或半定量化學(xué)成份分析。
EDS通常與SEM (掃描電子顯微鏡)、TEM (透射電子顯微鏡)和STEM (掃描透射電子顯微鏡)等影像分析工具搭配使用的分析技術(shù)。當(dāng)EDS和這些影像工具結(jié)合到一起時(shí),可以提供直徑至納米的區(qū)域進(jìn)行元素分析。電子束對(duì)樣品的撞擊會(huì)產(chǎn)生樣品元素的特性X-射線, EDS分析可用于確定單點(diǎn)的元素成份,繪制出二維/三維的成像區(qū)域元素的成份分布/稱映圖(Mapping),或者EDS 線掃描Line-scanning一維成份分布。
應(yīng)用范圍:樣品元素分析,被動(dòng)件真?zhèn)舞b別
測(cè)試圖片: